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德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

设计/工作原理

普发真空于 1958 年由 W. Becker 博士开发涡轮分子泵并获 得专利。涡轮分子泵属于动能

真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋

转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。转子盘之 间插入的倒置镜是具有类似几何

形状的叶片定子盘。

轴承

通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，因为轴承中

有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑

电动机/驱动器

能够提供旋转频率高达 1，500 Hz (90，000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶

片速度是泵送气体所必需的。

如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源

包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流

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ULVAC分子泵的特性：

-优xiu的防腐表面处理（不含3303跳频和6300fh）。可选的特殊表面处理

-可安装的在所有的方向

-内置监控/自我诊断和通信功能启用配置集中监控系统

-维护稳定的泵性能对改变背压（FH系列）

-可选的内部加热系统控制转子温度和减少粘连得副反应副产品（FW系列）

-安全设计与断裂能量吸收结构可以减少po坏这空系统当麻烦发生在泵

-高耐用性和可靠性高，通过实验实现了诸如空气涌入测试、各种接触下来测试强制po坏测试转子和异wu跌落测试

-变速系统标志着它可能改变抽运速率在响从25%通过100%

-没有限制任何电源，结合泵主要单位改变电缆长度因为使用耦合自由系统和调优自由系统

-自我发电的可再生能源是用来备份电源断电时通过使用黄油免费系统。

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优点 10 毫巴以上与气体类型无关 – 允许用任何混合气体安全放空 在大气压下和重复性 – 用于可靠的大气压强检测 快速大气压检测 – 无需等待时间和缩短过程周期 任意的安装方位 –